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　　鍍膜設(shè)備鍍出的產(chǎn)品掉膜的原因：
　　一、產(chǎn)品表面潔凈度不夠，離子源清洗氬氣放大時間長點。
　　二、清洗是否有加了清洗劑，或者更換了清洗劑，建議用純水先試一下。
　　三、工藝參數(shù)是否有變動在膜厚和電流上可以做點調(diào)整。